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- 2023-05-16 发布于四川
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本发明提供一种动态随机存储器的芯片测试方法及装置。所述方法包括:对极板节点施加初始化电压并对选中的一列位线预充电;打开选中的字线对目标单元写“1”,在对目标单元写“1”的过程中对极板节点施加大于初始化电压的第一电压;在目标单元写“1”之后,关闭字线,对极板节点施加小于初始化电压的第二电压;等待设定时间之后,读取目标单元;根据读取结果判断目标单元是否正常。本发明能够检测出极板节点噪声电压造成的不良单元。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114765049 A
(43)申请公布日 2022.07.19
(21)申请号 202110050366.X
(22)申请日 2021.01.14
(71)申请人 中国科学院微电子研究所
地址 10
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