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本发明提供了一种薄型DFN的3D封装方法,其特征在于,包括如下步骤:(S1)磨划:(S2)一次装片:(S3)一次固化:(S4)二次装片:(S5)二次固化:(S6)等离子清洗:(S7)键合:(S8)塑封:(S9)后固化:(S10)表面处理:(S11)切割分离:(S12)测试、打印、编带。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114743888 A
(43)申请公布日 2022.07.12
(21)申请号 202210540741.3
(22)申请日 2022.05.17
(71)申请人 浙江亚芯微电子股份有限公司
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