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本发明提供一种可实现流量控制的臭氧破坏装置及臭氧破坏方法，该臭氧破坏装置通过在第一匀流腔内设置第一匀流组件、在第二匀流腔内设置第二匀流组件，对废气进行两次匀流，保证了匀流效果；通过在第一反应腔外侧面上设置第一温度监测件、在排气管路上设置流量监测件和臭氧浓度监测件，实时监测反应腔局部温度、排出的净化气体的流量和排出的净化气体中的臭氧浓度，并以这三个变量为控制依据，控制第一驱动组件驱动第一流量调节组件动态调整反应腔内通过的气体流量，从而避免催化剂局部过热、保证催化效率，便于在避免催化剂局部过热、达到
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114768528 A
(43)申请公布日 2022.07.22
(21)申请号 202210491025.0
(22)申请日 2022.05.07
(71)申请人 苏州晶拓半导体科技有限公司
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