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本发明涉及一种氧化物薄膜晶体管,包括设置在基板上的栅极和绝缘层,以及有源层、源极、漏极和沟道保护层,栅极被绝缘层所覆盖,有源层、源极、漏极均设置在绝缘层上,沟道保护层设置在沟道部位上,源极、漏极相对设置并与有源层顶部搭接;沟道保护层包括混有吸光物质的光敏树脂涂层;源极、漏极为由金属层图形化而成的金属电极,源极、漏极分别设有向沟道保护层顶部延伸的源极延伸部、漏极延伸部,源极延伸部和漏极延伸部覆盖光敏树脂涂层而构成沟道保护层的遮挡结构,源极延伸部与漏极延伸部之间设有缝隙。本发明不仅结构紧凑,而且遮光
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114784114 A
(43)申请公布日 2022.07.22
(21)申请号 202210465622.6
(22)申请日 2022.04.29
(71)申请人 汕头超声显示器技术有限公司
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