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本发明公开了一种TFT‑LCD玻璃基板蚀刻浸泡漂洗装置及方法，涉及TFT‑LCD玻璃基板生产处理技术领域。本发明中：漂洗箱内转动安装有用于竖直承载多个玻璃基板的篮具架，漂洗箱下方配置有伺服驱动装置，漂洗箱一内侧壁面嵌入安装有光电发射模块，漂洗箱另一内侧壁面嵌入安装有与光电发射模块位置对齐的光电接收模块。漂洗箱安装有若干与光电发射模块同侧板位置的喷流管头，漂洗箱安装有若干与光电接收模块同侧板位置的吸流管头。漂洗箱安装有与吸流管头同侧板位置的温度传感模块，漂洗箱安装有与喷流管头同侧板位置的加热模块。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114789177 A
(43)申请公布日 2022.07.26
(21)申请号 202210349621.5
(22)申请日 2022.04.02
(71)申请人 蚌埠高华电子股份有限公司
地址 2
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