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本发明涉及超精密加工领域，公开一种超精密加工刀痕在位检测方法。该检测方法包括以下步骤：步骤一，加工表面形貌，对设置于机床主轴上的工件的加工表面进行超精密单点金刚石加工；步骤二，测量反射光谱，设置反射光谱仪，并使反射光谱仪发射的光束垂直射入加工表面，以获得反射光谱；步骤三，拟合判断，根据反射光谱，拟合计算出加工表面刀痕的几何信息，并根据几何信息判断加工表面是否满足加工需求。该检测方法无需取下工件，即可对工件进行检测，且属于非接触式检测，有效避免了加工表面损伤。另外，该检测方法直接从光学效果出发，建
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114770224 A
(43)申请公布日 2022.07.22
(21)申请号 202210579594.0
(22)申请日 2022.05.25
(71)申请人 北京理工大学
地址 100081
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