1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

测试件排布结构及测试基板.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约1.99万字
  • 约 21页
  • 2023-05-17 发布于四川
  • 举报

测试件排布结构及测试基板.pdf

    本申请公开一种测试件排布结构及测试基板。测试件排布结构包括：多个测试组，每个所述测试组包括至少一个测试件，各所述测试组内所述测试件的数量相同，多个所述测试组绕一虚拟标记点设置，所述测试件具有图案化结构，每个所述测试组至少有一个所述图案化结构相同的所述测试件，各所述测试组内的所述相同的图案化结构至所述虚拟标记点的距离相同。利用蒸镀设备进行蒸镀进而得到的上述各图案化结构的膜层厚度较为一致，提高了各测试组的相同的图案化结构的蒸镀膜层厚度均一性，一定程度上改善了各测试组内测试件的蒸镀膜层厚度不均匀的现象

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114823407 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210360696.3 (22)申请日 2022.04.07 (71)申请人 武汉天马微电子有限公司 地址 43

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >