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- 2023-05-17 发布于四川
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本申请提供了一种三维存储器、制备方法及存储系统，三维存储器包括：叠层结构；覆盖加固层，设置于叠层结构上；栅线间隙结构，沿叠层结构的堆叠方向贯穿叠层结构，并在垂直于堆叠方向的第一方向延伸，其中覆盖加固层包括至少一个隔离结构，隔离结构沿堆叠方向贯穿覆盖加固层，并与栅线间隙结构彼此连通。本申请提供的三维存储器通过在叠层结构上设置覆盖加固层，不但可增强三维存储器结构的连接和固定，还可改善和释放三维存储器结构的局部应力，增加三维存储器结构的稳定性。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114823696 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202210361036.7
(22)申请日 2022.04.07
(71)申请人 长江存储科技有限责任公司
地址 4
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