原创力文档试验一 微开工作台的驱动掌握
— 试验目的：
把握微开工作台的驱动掌握的根本原理和根本方法；
二 试验原理
微开工作台的组成：根本上是由工作台滑板、直线移动导轨、传动机构、驱动源、掌握装置和位移检测器等组成，是柔性支承、由压电驱动器驱动。其构造简图如图 1-1 所示：
图1-1 微开工作台构造简图试验系统的构成如图 1-2 所示。
图 1-2 试验系统
三 试验步骤
将工作台固定于防震台上，将各部件安要求连接起来：驱动器与电源连接，测微传感器安装固定等；
翻开驱动掌握电源的软件，按所需掌握工作台移动；
测微仪测量。
四 试验记录
微开工作台通过驱动电源掌握 X、Y 方向的移动。可通过与工作台相
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