一种新型高温磷酸腐蚀机及其控制方式.pdfVIP

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2023-05-17 发布于北京
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一种新型高温磷酸腐蚀机及其控制方式.pdf

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本发明涉及磷酸腐蚀技术领域，且公开了一种新型高温磷酸腐蚀机及其控制方式，包括配电箱，所述配电箱一侧固定连接有安装盒，且安装盒一侧固定连接有壳体，壳体的另一侧与配电箱相连接，所述配电箱、安装盒和壳体之间固定连接有盖板，且盖板下表面一侧固定连接有两个机械手输送机构，所述配电箱、安装盒和壳体之间固定连接有固定板，且固定板位于盖板正下方，所述固定板一侧安装有石英槽，且石英槽一侧设置有冷却槽。本发明能够提高每项流程的质量，从而不相互干扰，从而提高腐蚀质量，具有一定的创造性，能够更好地提高操作控制流程，操作

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114804920 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202110064010.1 (22)申请日 2021.01.18 (71)申请人江苏科沛达半导体科技有限公司地址