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晶圆传送装置、晶圆预抽装置及快速传送片系统.pdfVIP

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  • 2023-05-17 发布于四川
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晶圆传送装置、晶圆预抽装置及快速传送片系统.pdf

    本发明提供了一种晶圆传送装置，包括：底座，以及固定所述底座上的晶圆支撑部件，所述晶支撑定部件内侧面形成多个的支撑组件，所述支撑组件之间形成卡槽，并沿垂直于所述底座方向间隔排布；并且，所述晶圆支撑部件的内侧面，形成与晶圆外周边沿相匹配的圆弧，使晶圆在所述晶圆传送装置内，沿垂直于所述底座的方向稳定间隔排布。本发明缩短了传片时间、延长了晶圆预抽装置密封圈的使用寿命，减少了主检测模块中代入微粒的量，延长了给晶圆预抽装置抽气的泵的使用寿命。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114823445 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210259320.3 (22)申请日 2022.03.16 (71)申请人 东方晶源微电子科技（北京）有限公

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