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本发明公开了一种结构内嵌的在片校准件及其校准测试方法。包括七种校准件，均包括衬底和金属层，金属层包括两侧的地导体和中间间隙两端的可换结构，地导体采用金属片，可换结构包括固定区域和可换区域，固定区域紧邻于衬底边沿，可换区域紧邻于固定区域为四种结构之一；测试获得所有校准件的散射参数矩阵和寄生参数并输入16项误差模型校准拟合，将被测件的散射参数矩阵输入到校准拟合后的16项误差模型输出散射参数测量值。本发明通过将开路、短路和负载结构进行内嵌化设计避免因探针与不同结构的校准件接触导致寄生参数的变化，有效降
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114814699 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202210525712.X
(22)申请日 2022.05.16
(71)申请人 浙江大学
地址 310058 浙江
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