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基于复合材料狭缝波导的片上无温漂微环谐振腔光传感器.pdfVIP

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  • 2023-05-17 发布于四川
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基于复合材料狭缝波导的片上无温漂微环谐振腔光传感器.pdf

    本发明公开了一种基于复合材料狭缝波导的片上无温漂微环谐振腔光传感器。包括基于复合材料狭缝波导的微环谐振腔、与微环谐振腔相互耦合的直波导，所述的微环谐振腔分为由正热光系数材料构成的第一环形波导和由负热光系数材料构成的第二环形波导；第一环形波导和第二环形波导同心布置，且之间具有环形的狭缝。本发明充分利用了基于狭缝波导的光传感器高灵敏度的优点，又基于无温漂复合材料结构解决了传统片上环形谐振腔高温漂的缺点，即没有温漂而只对所覆盖的分析物敏感，同时具有加工简单、结构紧凑的特点，能满足片上光传感器的实际需求

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114813573 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210161722.X (22)申请日 2022.02.22 (71)申请人 浙江大学嘉兴研究院

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