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- 2023-05-17 发布于四川
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本发明提供一种被处理体的搬送方法和处理装置，能够抑制被处理体在载置台的载置面上产生位置偏移和从升降销产生灰尘。被处理体的搬送方法包括工序a)、工序b)、工序c)以及工序d)。在工序a)中，调整具有能够载置被处理体的载置面的载置台的倾斜度，以使载置面相对于水平面倾斜。在工序b)中，在工序a)之前或之后，使设置于载置台的多个升降销上升，来从搬送被处理体的搬送装置接受被处理体。在工序c)中，通过使多个升降销下降和/或使载置台上升，来将被处理体载置于倾斜的载置面。在工序d)中，调整载置台的倾斜度，以使载
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116013838 A
(43)申请公布日 2023.04.25
(21)申请号 202211254661.8
(22)申请日 2022.10.13
(30)优先权数据
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