1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

掩膜板异物清除方法.pdfVIP

  • 4
  • 0
  • 约8.2千字
  • 约 7页
  • 2023-05-17 发布于四川
  • 举报

掩膜板异物清除方法.pdf

    本申请公开了一种掩膜板异物清除方法。所述掩膜板异物清除方法包括如下步骤：去除掩模板上附着的有机物的步骤；去除异物的步骤；其中，采用碱的醇溶液去除掩模板上残留的异物；干燥掩模板的步骤。本申请的掩膜板异物清除方法，可以增强对掩膜板的清洗能力，以及减少掩膜板清洗后残留物。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114798587 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210363375.9 (22)申请日 2022.04.07 (71)申请人 武汉华星光电半导体

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >