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用于包括相邻FOUP的气流优化的系统、设备和方法.pdfVIP

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  • 2023-05-17 发布于四川
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用于包括相邻FOUP的气流优化的系统、设备和方法.pdf

    本公开涉及用于包括相邻FOUP的气流优化的系统、设备和方法。一种系统包括：前开式晶圆传送盒(FOUP)，被配置为保持一个或多个半导体晶圆；和加载平台，具有工作台和在所述工作台上方延伸的接收部分。所述FOUP位于所述工作台上。风扇过滤器单元(FFU)位于所述加载平台上方。气流优化器设备被设置在所述接收部分上和所述FFU下方。所述气流优化器设备具有入口开口和出口开口，以及在所述入口开口和所述出口开口之间延伸的通道。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114823437 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210252611.X (22)申请日 2022.03.11 (30)优先权数据

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