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一种多功能型键合夹具与使用方法.pdfVIP

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  • 2023-05-17 发布于四川
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一种多功能型键合夹具与使用方法.pdf

    本发明提供一种多功能型键合夹具与使用方法，通过将加工芯片的工作台作为底座，芯片在底座上加工完后，将盖板盖于底座上方并相互连接，盖板中间设置有夹持杆和推力杆，夹持杆和推力杆同时插入底座的固定柱中，并通过按压盖板上方的夹持杆，将设置于夹持杆下端的夹持件卡于固定柱外侧面与推力杆内侧面之间，从而完成夹持杆和推力杆同底座1之间的固定，通过把握所述推力杆或者夹持杆，在芯片刚加工完毕后便可以直接进行转移，无需等待芯片冷却后再进行操作，从而将芯片键合的整个操作时间大大缩短。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116013839 A (43)申请公布日 2023.04.25 (21)申请号 202211700639.1 (22)申请日 2022.12.29 (71)申请人 南京光坊科技有限公司 地址 21

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