一种锐钛矿二氧化钛薄膜及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-18 发布于北京
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一种锐钛矿二氧化钛薄膜及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种锐钛矿二氧化钛薄膜及其制备方法。一种锐钛矿二氧化钛薄膜的制备方法，包括以下步骤：(1)将氟化钠加入至盐酸溶液中，进行第一次搅拌，再加入钛源，进行第二次搅拌，得到混合物；(2)将步骤(1)的混合物与基底置于反应装置内进行晶化处理，晶化处理后，在基体表面上获得锐钛矿二氧化钛薄膜。本发明采用氟化钠和盐酸作为氟源和酸来源，实现高H+低F‑或低H+高F‑的生长环境，氟化钠在溶液中处于完全电离状态，F‑离子属于小尺寸离子，在溶液中运动快，且可根据钛的需要进行“量衣裁体”提供所需F‑离子，不会

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114853357 A (43)申请公布日 2022.08.05 (21)申请号 202210569754.3 (22)申请日 2022.05.24 (71)申请人中山大学地址 510275