添加氢气的六氟化硫热催化循环降解装置.pdfVIP

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  • 2023-05-18 发布于四川
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添加氢气的六氟化硫热催化循环降解装置.pdf

本发明公开了添加氢气的六氟化硫热催化循环降解装置,包括依次管道连接的原料气罐、预处理器、一级压力控制器、反应器、二级压力控制器和碱洗池;还包括与碱洗池的排气口依次管道连接的分子筛和三级压力控制器;三级压力控制器排气出口通过带球阀的管道连接到原料气罐和预处理器之间的管道上;所述分子筛出口与碱洗池出口之间连接有与分子筛并联的带球阀的循环支管;所述循环支管与分子筛出口交汇出口端和二级压力控制器与碱洗池之间的管道分别设置有支管,该支管连接到尾气分析测试系统。该装置不仅可以提供SF6及H2与催化剂反应的气

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114797462 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210580508.8 B01D 53/52 (2006.01)

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