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本发明公开了一种多级可切换半导体激光器热沉散热装置，主要包括宏通道水冷热沉、TEC制冷模块、导热铜板、石墨棒、侧翼辅助水冷通道、冷却液、温度传感器、智能温度控制系统和水冷风扇。使用时，衬底使用铟焊料焊接在宏通道水冷热沉的上表面，注入电流大于阈值电流，激光器开始工作，通过温传感器的反馈，智能温度控制系统可持续地调节冷却液流速以及散热模块的工作状态，注入4A电流，先打开宏通道水冷热沉，根据智能温度控制系统控制冷却液流速，当热流密度持续升高影响出光效率时，进一步打开水冷风扇。加大电流注入密度，结温升高
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114843879 A
(43)申请公布日 2022.08.02
(21)申请号 202210388164.0
(22)申请日 2022.04.14
(71)申请人 广东工业大学
地址 510062
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