一种高储能柔性无机薄膜及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-18 发布于北京
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一种高储能柔性无机薄膜及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种高储能柔性无机薄膜及其制备方法，属于储能介质材料制备技术领域。本发明解决了现有无机薄膜电容器储能性能偏低且弯折性较差的问题。本发明采用机械剥离、射频磁控溅射和快速退火工艺在Mica和金属电极之间引入宽禁带PZT薄层作为界面势垒层，抑制电极处电荷注入，提升击穿性能。且当退火温度为500℃时，退火处理过的PZT‑Mica‑PZT柔性无机薄膜具有优异的击穿强度(～792.5MV/m)和储能密度(～32.6J/cm3)以及较高的充放电效率(～90.0％)，同时保持了无机薄膜自身优异的机械

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114864283 A (43)申请公布日 2022.08.05 (21)申请号 202210277441.0 (22)申请日 2022.03.21 (71)申请人哈尔滨理工大学地址 150080