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本发明公开了一种基于机器学习的高能效电容提取方法，涉及利用机器学习模型进行寄生电容提取来提升参数提取的效率；通过基于网格的数据表示通用地表示互连线结构；以自适应提取窗口的思想降低参数提取工作量并增强该技术不同半导体工艺的鲁棒性；为二维互连线结构建立电容提取机器学习模型，对于目标互连线结构进行网格参数提取并输入机器学习模型中，获得寄生电容参数。相较于现有电容提取技术，该电容提取器在准确度、速度和时间空间消耗上都达到了优良的性能。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114841114 A
(43)申请公布日 2022.08.02
(21)申请号 202210390710.4
(22)申请日 2022.04.14
(71)申请人 浙江大学
地址 310058 浙江
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