激光腔和电子器件的制造方法.pdfVIP

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2023-05-18 发布于北京
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激光腔和电子器件的制造方法.pdf

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本发明提供激光腔和电子器件的制造方法。准分子激光装置的激光腔具有：容器，其包含第1部件和第2部件，在内部收纳激光气体；以及环状的密封部件，其被配置于所述第1部件与所述第2部件的对置的2个密封面之间，所述密封部件的激光气体侧的表面由氟橡胶构成，所述密封部件的大气侧的表面由抑制大气透过的膜构成，所述膜的厚度形成为，在远离所述2个密封面的位置处较厚，在接近所述2个密封面的位置处较薄。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114843868 A (43)申请公布日 2022.08.02 (21)申请号 202210491037.3 (22)申请日 2018.04.23 (62)分案原申请数据 201880090669.0