具有低电阻背面触点的封装电子器件.pdfVIP

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  • 2023-05-18 发布于四川
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具有低电阻背面触点的封装电子器件.pdf

一种电气设备(100)包括:金属层(138),该金属层(138)形成在半导体器件管芯(102)的非器件侧面之上,半导体器件管芯(102)具有形成在半导体器件管芯(102)的与非器件侧面相反的器件侧面上的器件;金属层(138)的第一侧面,该第一侧面键合到封装衬底(104)上的管芯安装焊盘(112);金属层(138)的第二侧面,该第二侧面形成在半导体器件管芯(102)的非器件侧面上的粗糙化的表面(132)之上,该粗糙化的表面(132)具有在40nm和500nm之间的平均表面粗糙度(Ra);半导体器件

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114868235 A (43)申请公布日 2022.08.05 (21)申请号 201980102401.9 (51)Int.Cl.

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