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一种可调光学滤波装置.pdfVIP

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  • 2023-05-18 发布于四川
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一种可调光学滤波装置.pdf

    一种可调光学滤波装置，包括相互键合的第一透明衬底(101)和第二透明衬底(102)，在第一透明衬底(101)和第二透明衬底(102)的相互面对的表面上分别设置有互相平行的第一镜面(111)和第二镜面(112)，第一透明衬底(101)设置有分布在第一镜面(111)的外部周围的弹性结构(201)，弹性结构(201)上远离第一透明衬底(101)的一侧通过键合物与第二透明衬底(102)键合在一起。衬底和镜面组成的镜面芯片与弹性结构(201)通过分离且不同质的材料制成由电容驱动的FPI器件，在机械强度上满

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114868068 A (43)申请公布日 2022.08.05 (21)申请号 201980102504.5 (74)专利代理机构 厦门福贝知识产权代理事务

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