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- 2023-05-18 发布于四川
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本申请涉及一种双腔级联加速度‑温度传感器，包括上下设置的加速度传感器结构和温度传感器结构，加速度传感器结构由悬臂梁‑质量块结合构成的惯性运动结构。当传感器受到平行于空气腔方向的加速度时，质量块由于惯性的影响产生位移，进而导致空气腔腔长发生变化，从而引起干涉光谱的波长偏移。温度传感器结构由单晶硅构成硅腔及上下两侧的光学膜组成。当温度发生变化时硅的体积随之发生变化，导致硅腔腔长变化，从而引起干涉光谱的波长偏移。空气腔和硅腔的相差1个数量级以上，光束从传感器质量块上方垂直入射，经过空气腔与硅腔后出射，
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114812853 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202210564886.7
(22)申请日 2022.05.23
(71)申请人 欧梯恩智能科技（苏州）有限公司
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