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反射型的偏振光分离衍射元件以及具备该元件的光学测定装置.pdfVIP

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  • 2023-05-18 发布于四川
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反射型的偏振光分离衍射元件以及具备该元件的光学测定装置.pdf

    本发明提供一种能够在包括紫外区的宽波长范围内使用的反射型的偏振光分离衍射元件以及具备该元件的光学测定装置。反射型的偏振光分离衍射元件具备：基板(1)；反射面(2)，其形成于基板(1)的表面；以及光栅状结构体(3)，其设置在反射面(2)上，呈现出结构性双折射(Δn*)。光栅状结构体(3)由4个图案的光栅状结构体(3A、3B、3C及3D)构成，所述4个图案的光栅状结构体具有各不相同的方位角的光栅状结构。多个图案的光栅状结构体(3A、3B、3C及3D)以使光栅状结构的方位角进行结构周期性的变化的方式在

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114868046 A (43)申请公布日 2022.08.05 (21)申请号 201980103062.6 (74)专利代理机构 北京林达刘知识产权代理事

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