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2023-05-18 发布于北京
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本公开提供了一种移载装置，包括：承托组件，承托组件具有用于承托目标工件的承托端面，承托组件位置可移动地设置，以将目标工件移送至加工腔室内；吸附组件，吸附组件相对于承托组件可移动地设置，吸附组件具有吸附本体，吸附本体处于加工腔室内时，加工腔室内的气体附着在吸附本体上。本公开解决了现有技术中的晶圆在高温制程中的良品率较低的问题。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114864472 A (43)申请公布日 2022.08.05 (21)申请号 202210499813.4 (22)申请日 2022.05.09 (71)申请人长鑫存储技术有限公司地址 230