一种用于投影光刻的物镜光学系统以及投影光刻系统.pdfVIP

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2023-05-18 发布于北京
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一种用于投影光刻的物镜光学系统以及投影光刻系统.pdf

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本发明提供了一种用于投影光刻的物镜光学系统以及采用该物镜光学系统的投影光刻系统，其在结构简单，使用透镜少、低成本的同时，还具有较高的分辨率，沿着光轴顺序设置有：第一镜组、第二镜组、第三镜组和反射曲面，由物面发射的光束依次经过第一镜组、第二镜组、第三镜组后，再经过反射曲面反射，再依次经过第三镜组、第二镜组、第一镜组后汇聚成像到像面，所述物镜光学系统满足关系式：0.14

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114859516 A (43)申请公布日 2022.08.05 (21)申请号 202210565485.3 (22)申请日 2022.05.23 (71)申请人张家港中贺自动化科技有限公司地址