利用飞秒脉冲激光的整平抛光装置和方法.pdfVIP

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2023-05-18 发布于北京
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利用飞秒脉冲激光的整平抛光装置和方法.pdf

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本发明涉及在利用飞秒脉冲激光使大面积平面加工物整平后执行改善表面粗糙度的抛光的装置，位置固定部具有供被加工物安置在其上以对被加工物的表面进行加工的台、在台上固定被加工物的固定夹具、及使台在X轴、Y轴上移动的移动装置，表面形状测量部对限定在被加工物的表面上的多个测量点中的高低进行测量，并且对被加工物的表面形状进行数据化并传输，激光加工部基于获得的表面形状数据而执行将飞秒脉冲激光仅照射到加工区域以进行整平工艺，之后执行照射又一预定功率的飞秒脉冲激光，控制部接收表面形状数据并将其变换为用于整平加工的面

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114850679 A (43)申请公布日 2022.08.05 (21)申请号 202110956939.5 B23K 26/03 (2006.01) (22)申请日 2021.08.