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本发明公开了一种手动导片机,包括导片基座,导片基座上设有推块结构和限位结构,推块结构包含导杆限位块,导杆限位块固定于导片基座的下方,导杆限位块上穿设有导杆,导杆的一端连接有推块连接块,推块连接块的远离导杆端连接有推块,导杆的远离推块连接块端连接有活动片固定块,活动片固定块的靠近导片基座的侧面设有活动片,活动片固定块上与设有活动片的侧面相邻的侧面连接有手柄,导片基座的上方设有四个呈矩形阵列排列的第二限位块,第二限位块上设有限位凹槽。本发明的有益效果是:实现推动晶圆盒移动,便于晶圆片的精准摆放,便于
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114852662 A
(43)申请公布日 2022.08.05
(21)申请号 202210650492.3
(22)申请日 2022.06.09
(71)申请人 苏州辉垦电子科技有限公司
地址 2
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