一种靶材环件的回收方法.pdfVIP

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2023-05-19 发布于北京
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一种靶材环件的回收方法.pdf

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本发明提供了一种靶材环件的回收方法，所述回收方法包括以下步骤：将预处理后的靶材环件进行拆卸，分别得到环部和连接部；将得到的环部进行压制，然后与挡板组装成槽体，并将所述连接部置于所述槽体之中；进行电子束熔炼，得到靶锭，实现回收；所述回收方法仅将靶材环件经过简单的处理与组装，然后采用电子束熔炼即可实现回收，便捷高效，单次产量高，极大地缩短了生产周期，且得到的靶锭表面质量好，纯度可高达99.99％以上，有利于规模化生产应用。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114892028 A (43)申请公布日 2022.08.12 (21)申请号 202210376271.1 (22)申请日 2022.04.11 (71)申请人同创（丽水）特种材料有限公司地址