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本申请属于芯片测试技术领域，尤其涉及一种芯片测试设备，包括机架、芯片载台、测试组件、视觉组件、积分球组件和平移机构，芯片载台安装于机架上；测试组件安装于机架上，测试组件包括用于与芯片的引脚接触的测试针；视觉组件位于芯片载台的上方；积分球组件能够收集芯片发出的光线，积分球组件能够安装于机架上；平移机构与机架连接，平移机构的移动端与视觉组件连接；积分球组件还能够安装于平移机构的移动端上；积分球组件在安装于机架上时位于芯片载台的下方；积分球组件在安装于平移机构的移动端上时位于芯片载台的上方并与视觉组件
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114859214 A
(43)申请公布日 2022.08.05
(21)申请号 202210782000.6
(22)申请日 2022.07.05
(71)申请人 深圳市标谱半导体科
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