搬送装置、成膜装置及控制方法.pdfVIP

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2023-05-19 发布于四川
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搬送装置、成膜装置及控制方法.pdf

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本发明提供能够在抑制辊群间的搬送速度差的产生的同时进行搬送速度的加速或者减速的搬送装置、成膜装置及控制方法。搬送装置具备：第一辊群，搬送基板；第二辊群，相对于上述第一辊群连续地配置在上述基板的搬送方向的上述第一辊群的下游侧，搬送上述基板；以及控制部件，控制上述第一辊群及上述第二辊群，上述控制部件在上述第一辊群以第一搬送速度搬送上述基板的途中，在将上述第一辊群及上述第二辊群的搬送速度变更为第二搬送速度的情况下，控制上述第一辊群及上述第二辊群，使得在上述基板到达上述第二辊群之前，上述第一辊群及上述第

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114908330 A (43)申请公布日 2022.08.16 (21)申请号 202210104085.2 H01L 51/56 (2006.01) (22)申请日 2022.01.