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本发明提出一种富氦气体分离提纯装置，其包括：有机膜分离单元、物理吸附单元和化学吸附单元。其可以将将富氦气体中的N2、H2O、CO、CO2、CH4、Ar、O2、H2等杂质去除，并得到高纯氦气，该技术具备常温运行、工艺简单、回收率高的特点。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114887463 A
(43)申请公布日 2022.08.12
(21)申请号 202210515153.4
(22)申请日 2022.05.12
(71)申请人 有研工程技术研究院有限公司
地址
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