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本公开提供了提高键合质量的红光二极管芯片制备方法，属于红光二极管制作领域。在第一氮化硅子层上旋涂液态绝缘玻璃溶液，再在110度～120度的条件下固化液态绝缘玻璃溶液至半固态。液态绝缘玻璃溶液在低温下进行固化，可以保证液态绝缘玻璃溶液在固化过程中释放应力，减小外延材料内部应力对键合层的拉扯与损坏，提高键合质量与发光效率。在第二温度的条件下固化液态绝缘玻璃溶液至固态以得到绝缘玻璃子层，第二温度较150度高100度～150度。最后在绝缘玻璃子层上沉积第二氮化硅子层，可以提高钝化层的密封性，并可以避免使
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114899283 A
(43)申请公布日 2022.08.12
(21)申请号 202210305054.3
(22)申请日 2022.03.24
(71)申请人 华灿光电（浙江）有限公司
地址 3
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