一种晶圆检测高精度气浮运动平台及方法.pdfVIP

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2023-05-19 发布于北京
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一种晶圆检测高精度气浮运动平台及方法.pdf

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本发明公开了一种晶圆检测高精度气浮运动平台及方法，包括底座，所述底座上安装有两个对称设置的Y向导轨，两个Y向导轨上均滑动有Y向滑块，两个Y向滑块固接在X向导轨的两端，X向导轨上滑动有X向滑块，X向滑块的表面安装有水平补偿机构，水平补偿机构上固接有固定柱，此晶圆检测高精度气浮运动平台及方法，区别于现有技术，可将待检测晶圆夹紧，保持待检测晶圆在检测过程中的稳固性，可对载台的水平位置进行校准补偿，再利用气泵工作，气泵增加进入气浮腔内部的空气，使空气变多并顶动浮动台上移，从而对载台的高度位置进行校准补偿

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114878864 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210309413.2 (22)申请日 2022.03.28 (71)申请人斯棨信息科技（上海）有限公司地址