微结构及微结构的制造方法.pdfVIP

下载本文档

14
0
约2.2万字
约 21页
2023-05-19 发布于四川
举报
版权申诉

微结构及微结构的制造方法.pdf

1、本文档共21页，其中可免费阅读20页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

一种用于微机电设备的微结构(1)，其包括具有顶表面(3)和背表面(4)的基板(2)和布置在所述基板(2)的顶表面(3)处的薄膜结构(5)。薄膜结构(5)包括与基板(2)间隔开的凸起部分(8)、薄膜结构(5)的与基板(2)机械接触的下部部分(6)、至少一个突出部分(9)以及薄膜结构(5)的与至少一个突出部分(9)相距一定距离的至少一个另外的侧壁(7)，该突出部分是中空的并且具有至少一个侧壁(10)及底部(11)并且突出部分经由该底部(11)将凸起部分(8)机械连接到基板(2)。其中另外的侧壁(7)

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114902696 A (43)申请公布日 2022.08.12 (21)申请号 202080072969.3 (74)专利代理机构北京柏杉松知识产权代理事