一种空中运输小车的行走状态监测装置和方法.pdfVIP

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2023-05-19 发布于北京
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一种空中运输小车的行走状态监测装置和方法.pdf

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本发明提供一种空中运输小车的行走状态监测装置和方法，应用于半导体晶圆传送控制技术领域。其中，空中运输小车的行走状态监测装置包括：传感器模块安装在行走基板的上方，用于在空中运输小车的运行过程中，实时获取空中运输小车的运动信息，并根据运动信息获取空中运输小车的行走状态信息；判断模块用于根据行走状态信息，按照预设策略，判断运行轨道的异常情况，其中，预设策略包括行走状态信息与运行轨道异常情况之间的对应关系；提醒模块用于根据运行轨道的异常情况，发出对应的提醒信息。通过新增加传感器模块获取空中运输小车的运动

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114890075 A (43)申请公布日 2022.08.12 (21)申请号 202210469065.5 (22)申请日 2022.04.29 (71)申请人弥费实业（上海）有