- 1、本文档共20页,其中可免费阅读19页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本公开实施例涉及半导体领域,提供一种半导体结构及其制作方法,包括:衬底,所述衬底包括电路区和阵列区;第一隔离结构,所述第一隔离结构位于所述阵列区的所述衬底内;第二隔离结构,所述第二隔离结构位于所述电路区的所述衬底内,所述第二隔离结构包括:介质层;第一绝缘层,所述第一绝缘层位于所述介质层的底部和侧壁;第二绝缘层,所述第二绝缘层位于所述第一绝缘层远离所述介质层的底部和侧壁,所述第二绝缘层的材料与所述第一隔离结构的材料相同,其中,所述第二绝缘层的厚度大于所述第一绝缘层的厚度,至少可以改善电路区内第二隔
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114883393 A
(43)申请公布日 2022.08.09
(21)申请号 202210474878.3
(22)申请日 2022.04.29
(71)申请人 长鑫存储技术有限公司
地址 230
您可能关注的文档
- 一种加工牦牛骨的设备及工艺方法.pdf
- 一种基于姜黄素的分子印迹聚合物的制备方法、电化学传感器及其应用.pdf
- 一种近红外&双光子动力学双模高稳定荧光染料、NTR&HClO探针及合成方法与应用.pdf
- 一种运行日志的处理方法及装置、电子设备、存储介质.pdf
- 一种基于超声定位的中心静脉压自动监测仪.pdf
- 一种针对不同专业三维地质模型的融合方法.pdf
- 一种分区块建模的三维地质模型自动合并方法.pdf
- 四轮全向底盘控制方法及系统.pdf
- 一种沙漠用太阳驱动的吸附式冷热电水联产系统及其方法.pdf
- 一种双层耐热纸杯加工装置及其加工方法.pdf
- 大学生职业规划大赛《新闻学专业》生涯发展展示PPT.pptx
- 大学生职业规划大赛《应用统计学专业》生涯发展展示PPT.pptx
- 大学生职业规划大赛《音乐学专业》生涯发展展示PPT.pptx
- 大学生职业规划大赛《中医学专业》生涯发展展示PPT.pptx
- 大学生职业规划大赛《信息管理与信息系统专业》生涯发展展示PPT.pptx
- 大学生职业规划大赛《汽车服务工程专业》生涯发展展示PPT.pptx
- 大学生职业规划大赛《水产养殖学专业》生涯发展展示PPT.pptx
- 大学生职业规划大赛《市场营销专业》生涯发展展示PPT.pptx
- 大学生职业规划大赛《音乐表演专业》生涯发展展示PPT.pptx
- 大学生职业规划大赛《音乐学专业》生涯发展展示PPT.pptx
提供农业、铸造、给排水、测量、发电等专利信息的免费检索和下载;后续我们还将提供提供专利申请、专利复审、专利交易、专利年费缴纳、专利权恢复等更多专利服务。并持续更新最新专利内容,完善相关专利服务,助您在专利查询、专利应用、专利学习查找、专利申请等方面用得开心、用得满意!
文档评论(0)