薄膜沉积装置及其布气机构.pdfVIP

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2023-05-19 发布于北京
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薄膜沉积装置及其布气机构.pdf

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本申请公开了一种薄膜沉积装置及其布气机构，布气机构包括沿第一方向依次设置的喷淋背板、均气板、匀流板和喷淋板；其中，喷淋背板和喷淋板共同形成喷淋头，均气板和匀流板位于喷淋头内，匀流板和喷淋背板之间形成第一均气腔，匀流板和喷淋板之间形成第二均气腔，均气板设于第一均气腔内；喷淋背板在面对均气板的位置设有第一通孔；均气板设有贯通的均气孔；匀流板设有贯通的匀流孔，匀流孔用于使工艺气体从第一均气腔进入第二均气腔；喷淋板设有贯通的喷淋孔。本申请提供的薄膜沉积装置及其布气机构，能够提高布气均匀性，从而提高薄膜沉

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114875387 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210325415.0 (22)申请日 2022.03.29 (71)申请人江苏微导纳米科技股份有限公司地址