存储器元件、其形成方法及具有存储器元件的半导体元件.pdfVIP

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2023-05-20 发布于北京
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存储器元件、其形成方法及具有存储器元件的半导体元件.pdf

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提供一种存储器元件及其形成方法。存储器元件包括：多条位线，沿着第一方向延伸；多条字线，沿着与第一方向不同的第二方向延伸；多个存储柱；及选择器。所述多条字线设置在所述多条位线之上。所述多个存储柱设置在所述多条位线与所述多条字线之间，且分别位于所述多条位线与所述多条字线的多个交叉部位处。选择器设置在所述多个存储柱与所述多条字线之间。选择器从一个存储柱的顶表面延伸到覆盖相邻的存储柱的顶表面。还提供具有所述存储器元件的半导体元件。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114927541 A (43)申请公布日 2022.08.19 (21)申请号 202110813024.9 (22)申请日 2021.07.19 (30)优先权数据 17/238,212 2021