一种水平式光刻胶剥离工艺.pdfVIP

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2023-05-20 发布于北京
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一种水平式光刻胶剥离工艺.pdf

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本发明提供了一种水平式光刻胶剥离工艺。本发明的水平式光刻胶剥离工艺包括如下步骤：将待去胶晶圆在水平方向依次经过去胶液浸泡、去胶液喷淋、冲洗、烘干工序，实现晶圆上光刻胶的去除。本发明的水平式光刻胶剥离工艺，通过在水平方向湿法去胶，可将各类型光刻胶及变性光刻胶从衬底上彻底剥离，解决了变性光刻胶难以去除、光刻胶残留、去胶液残留的质量缺陷，提高了产品的可靠性和良率，同时提升了作业效率，增大了产能，降低了加工成本。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114924468 A (43)申请公布日 2022.08.19 (21)申请号 202210524586.6 (22)申请日 2022.05.13 (71)申请人广东越海集成技术有限公司地址 5