一种激光蚀刻过程热形变自适应控制方法.pdfVIP

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2023-05-20 发布于四川
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一种激光蚀刻过程热形变自适应控制方法.pdf

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本发明公开了一种激光蚀刻过程热形变自适应控制方法，通过对加工区域的栅格化处理，将加工区域分区域扫描加工，按照经验证的规划路径调整栅格单元的加工顺序；为了更好的控制加工过程的热形变，采用机器视觉实时测量刻蚀过程中各个栅格单元的热形变量，若出现热形变量超过设定阈值的情况，停止当前栅格单元的加工，依据加工顺序进行下一栅格单元的加工，通过实时调整栅格单元的加工，可以有效地控制热形变量，实现薄板的高质量加工；该方法有效降低了加工前准备的投入，可以有效地控制热形变量。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114918553 A (43)申请公布日 2022.08.19 (21)申请号 202210749365.9 (22)申请日 2022.06.29 (71)申请人南京先进激光技术研究院地址 21