MXene/n-Ge高速宽带自供电光电探测器的制作方法及探测器.pdfVIP

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2023-05-20 发布于北京
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MXene/n-Ge高速宽带自供电光电探测器的制作方法及探测器.pdf

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本发明公开了一种MXene/n‑Ge高速宽带自供电光电探测器的制作方法，获取Ti3C2Tx胶体溶液，以及掺有Sb的n‑Ge衬底，清除n‑Ge衬底表面杂质，然后将Ti3C2Tx胶体溶液覆在n‑Ge衬底上，在室温下干燥至恒重后形成Ti3C2Tx膜层使得Ti3C2Tx膜层与n‑Ge衬底形成肖特基异质结。本发明还公开了一种通过上述方法制得而成的MXene/n‑Ge高速宽带自供电光电探测器，该探测器结构简单，工作稳定，检测效果好，响应时间极快，精度和可靠性高，还具有体积小、重量轻的优点，另外传感器制作容易

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114927596 A (43)申请公布日 2022.08.19 (21)申请号 202210555083.5 (22)申请日 2022.05.20 (71)申请人