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提供一种能够抑制检测灵敏度的下降并提高承载力的力传感器。本发明的一形态是测量载荷的力传感器，具备：受压部；传感器基板，具有通过受压部所受到的载荷而位移的位移部，并具有对位移部的位移量进行电检测的多个压电电阻元件；基座基板，具有安装传感器基板的传感器安装面，并形成有与多个压电电阻元件电连接的电布线部；以及封装基板，具有安装基座基板的基板安装面和形成有能够与外部导通的焊盘电极的焊盘面；受压部、传感器基板及基座基板在基板安装面的法线方向上层叠；在法线方向上观察，位移部的整体位于受压部的内侧；在封装基板
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114930138 A
(43)申请公布日 2022.08.19
(21)申请号 202080088192.X (74)专利代理机构 永新专利商标代理有限公司
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