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- 2023-05-23 发布于四川
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一种柔性振动传感器及其制作方法，该柔性振动传感器包括振动敏感层、电极和空腔结构层，所述振动敏感层为带有振动敏感区的聚合物薄膜，所述振动敏感区包含多孔石墨烯薄膜，所述多孔石墨烯薄膜的两端分别连接所述电极，所述空腔结构层为柔性的聚合物材料，所述振动敏感层与所述空腔结构层固定在一起并使得所述振动敏感区悬空于所述空腔结构层的空腔之上。该柔性振动传感器既具有高灵敏度的优点，又具有柔软的传感结构，易安装在需要检测振动的表面，且在成本和结构稳定性上具有优势。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112161695 A
(43)申请公布日 2021.01.01
(21)申请号 202010997543.0
(22)申请日 2020.09.21
(71)申请人 清华大学深圳国际研究生院
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