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一种以锗为基底45度角倾斜使用的红外宽光谱分色片.pdfVIP

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  • 2023-05-23 发布于四川
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一种以锗为基底45度角倾斜使用的红外宽光谱分色片.pdf

    本发明公开了一种以锗为基底45度角倾斜使用的红外宽光谱分色片，该分色片入射面采用长波通滤光片的膜系结构形式，实现短波红外反射，中长波红外透射的光谱分光功能，膜系采用锗和硫化锌作为高低折射率材料。通过使用双反射堆来实现多通道宽带反射，反射堆两端加匹配层，匹配层中使用氟化镱，优化匹配层压缩透射通道波纹；出射面设计了宽光谱减反射膜，以获得透射通道高透射率。分色片在制备过程中采用合适的沉积速率、沉积温度与离子辅助沉积等工艺。该分色片能实现在1.29μm～1.38μm、1.58μm～1.83μm、1.95

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112162340 A (43)申请公布日 2021.01.01 (21)申请号 202010965503.8 (22)申请日 2020.09.15 (71)申请人 中国科学院上海技术物理研究所

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