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- 2023-05-23 发布于四川
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一种晶圆检测设备，包括：晶圆载台，用于固定待检测晶圆并能使所述固定后的待检测晶圆移动；激光模块，用于在待检测晶圆移动时向所述待检测晶圆的表面发射检测激光；摄像头阵列，所述摄像头阵列包括若干摄像头，用于获得检测激光照射待检测晶圆表面时反射的光斑的位移；曲率获取模块，用于根据所述光斑的位移获得所述待检测晶圆的曲率。本发明的晶圆检测设备提高了曲率检测的效率和精度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112164661 A
(43)申请公布日 2021.01.01
(21)申请号 202011038027.1
(22)申请日 2020.09.28
(71)申请人 上海果纳半导体技术有限公司
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