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一种悬浮脊形波导结构及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-05-23 发布于四川
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一种悬浮脊形波导结构及其制备方法.pdf

    提供一种悬浮脊形波导结构，该结构包括：脊形波导，其由具有三阶非线性系数的材料构成，该三阶非线性系数大于等于2.7×10‑20m2/W；用于支撑脊形波导的悬浮支撑结构，其材料与脊形波导材料相同，该悬浮支撑结构连接该脊形波导，并且在材料外延方向上的高度小于脊形波导的高度；孔洞结构，其位于悬浮支撑结构中；以及衬底，其连接悬浮支撑结构；其中，脊形波导是通过外延的方法生长的，以及所述脊形波导和所述悬浮支撑结构被设置为相对于所述衬底悬浮。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112162349 A (43)申请公布日 2021.01.01 (21)申请号 202011046761.2 (22)申请日 2020.09.29 (71)申请人 中国科学院物理研究所

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